ОВ на основе кварцевого стекла получили в настоящее время наибольшее распространение. Это связано с тем, что:
— кварцевое стекло является моносоединением и обладает большой химической устойчивостью и высокой механической прочность,
— соединения, из которых может быть получено кварцевое стекло широко распространены (это песок, горный хрусталь и т.д.),
— разработана технология получения высокочистых соединений кремния (прежде всего тетрахлорида кремния и тетраэтоксисилана), на основе которых может быть получено кварцевое стекло очень высокой степени чистоты.
Структуру кварцевого стекла подробно рассматривали в разделе 2.1.1, поэтому здесь остановимся на исходных материалах и методах получения кварцевого стекла, которые определяют содержание в нем примесей. Исходными материалами для получения кварцевого стекла являются: природные виды кварца (горный хрусталь и его разновидности, жильный кварц и т.д.); искусственные кристаллы кварца, выращенные гидротермальным способом в автоклавах; тетрахлорид кремния. При использовании природного кварца и искусственных кристаллов они дробятся, промываются в смеси кислот HCl+HNO3 и в воде, где с поверхности удаляются неорганические загрязнения, а сама двуокись кремния не растворима в этих кислотах. Полученную крупку перебирают, удаляя частицы, содержащие различные включения, после чего наплавляют в блоки. Используют следующие методы наплава:
1. электротермический наплав крупки в атмосфере Н2,
2. газопламенный наплав в пламени О2-Н2 горелки,
3. электротермический наплав крупки в вакууме,
4. парофазный гидролиз SiCl4 в пламени О2-Н2 горелки,
5. окисление SiCl4 в кислородной ВЧ-плазме.
В таблице 2.3 приведено содержание примесей переходных металлов и гидроксильных групп в кварцевом стекле опорных труб, полученном вышеуказанными методами.
Таблица 2.3 Содержание примесей переходных металлов и гидроксильных групп в трубах из кварцевого стекла, полученного вышеуказанными методами
| Метод получения | Содержание примесей масс. % | ||||||
| Fe | Cr | Ni | Mn | Cu | Co | OH | |
| 1. 2. 3. 4. 5. 6. | 2×10-4 4×10-5 8×10-5 1×10-5 2×10-5 3×10-5 | 4×10-6 3×10-6 5×10-6 <3×10-6 3×10-6 3×10-6 | 5×10-5 4×10-6 5×10-6 3×10-6 <1×10-6 <1×10-7 | 6×10-6 2×10-6 1×10-6 1×10-6 1×10-6 9×10-7 | 5×10-5 4×10-6 3×10-6 5×10-6 3×10-7 <1×10-7 | 3×10-6 <2×10-7 <2×10-7 <2×10-6 <2×10-7 <2×10-7 | 2×10-2 3,5×10-2 2×10-4 1,2×10-1 2×10-4 1,5×10-8 |